三和技研股份有限公司萧擎宇获国家专利权
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龙图腾网获悉三和技研股份有限公司申请的专利晶圆定位装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222939899U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421864781.4，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型晶圆定位装置是由萧擎宇;陈柏谚设计研发完成，并于2024-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆定位装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆定位装置，包括载台、升降夹爪、旋转夹爪、测距传感器以及控制模块。升降夹爪可升降地设置于载台。旋转夹爪可旋转地设置于载台。升降夹爪与旋转夹爪相对于载台呈同轴且交错设置。测距传感器设置于载台旁。控制模块电性连接升降夹爪、旋转夹爪与测距传感器。控制模块驱动升降夹爪相对于载台升降，以使晶圆在升降夹爪与旋转夹爪之间传送。当晶圆位于旋转夹爪上时，控制模块驱动旋转夹爪相对于载台旋转，并驱动测距传感器沿晶圆的边缘感测相对距离的变化，能有效率地判断晶圆的缺口的位置而满足所需定位校准的效果。
本实用新型晶圆定位装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆定位装置，其特征在于，包括：载台；升降夹爪，可升降地设置于所述载台；旋转夹爪，可旋转地设置于所述载台，其中所述升降夹爪与所述旋转夹爪相对于所述载台呈同轴且交错设置；测距传感器，设置于所述载台旁；以及控制模块，电性连接所述升降夹爪、所述旋转夹爪与所述测距传感器，其中所述控制模块驱动所述升降夹爪相对于所述载台升降，以使晶圆在所述升降夹爪与所述旋转夹爪之间传送，其中当所述晶圆位于所述旋转夹爪上时，所述控制模块驱动所述旋转夹爪相对于所述载台旋转，并驱动所述测距传感器沿所述晶圆的边缘感测相对距离的变化，以判断所述晶圆的缺口的位置。
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