苏州希景微机电科技有限公司余佳璇获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州希景微机电科技有限公司申请的专利振镜测试装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222938708U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421853125.4,技术领域涉及:G01M11/00;该实用新型振镜测试装置是由余佳璇;金勇设计研发完成,并于2024-08-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本振镜测试装置在说明书摘要公布了:本申请涉及MEMS振镜测试技术领域,尤其涉及一种振镜测试装置。振镜测试装置包括料盘、料盘驱动模块、激光器、振镜驱动模块、光束接收屏和图像采集模块。料盘用于承载至少两个振镜模组,振镜模组包括振镜。料盘驱动模块与料盘连接,用于驱动料盘移动,以使至少两个振镜模组中的任意一个移动至预设位置。激光器用于生成激光束,预设位置位于激光束的光路上。振镜驱动模块用于与位于预设位置的振镜模组电连接,以驱动振镜转动。光束接收屏,用于接收经由振镜反射的激光束。图像采集模块用于获取激光束于光束接收屏形成的图案。通过上述方式,可以提高振镜模组的测试效率,改善振镜模组测试效率低的问题。
本实用新型振镜测试装置在权利要求书中公布了:1.一种振镜测试装置,其特征在于,包括:料盘,用于承载至少两个振镜模组,所述振镜模组包括振镜;料盘驱动模块,与所述料盘连接,用于驱动所述料盘移动,以使所述至少两个振镜模组中的任意一个移动至预设位置;激光器,用于生成激光束,所述预设位置位于所述激光束的光路上;振镜驱动模块,用于与位于所述预设位置的振镜模组电连接,以驱动所述振镜转动;光束接收屏,用于接收经由所述振镜反射的激光束;以及图像采集模块,用于获取所述激光束于所述光束接收屏形成的图案。
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