宁波江丰电子材料股份有限公司姚力军获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波江丰电子材料股份有限公司申请的专利一种防止异常放电的一体成型靶材结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222935489U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421821706.X，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种防止异常放电的一体成型靶材结构是由姚力军;边逸军;刘聪设计研发完成，并于2024-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种防止异常放电的一体成型靶材结构在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种防止异常放电的一体成型靶材结构，所述一体成型靶材结构包括由上至下依次同心设置的第一台阶和第二台阶；所述第一台阶的直径＜第二台阶的直径；所述第一台阶的上表面为溅射面；所述第二台阶的两端分别对称设置有底面为圆弧形的沟槽；所述沟槽与第二台阶的边缘之间设置有安装槽；所述沟槽的开口直径为10‑12mm；所述沟槽的深度为5‑6mm。本实用新型提供的一体成型靶材结构通过设置底面为圆弧形的沟槽从而增大靶材和溅射机台零件之间的间距，避免靶材在使用过程中由于边缘形变导致靶材与机台零件接触，避免发生异常放电问题。
本实用新型一种防止异常放电的一体成型靶材结构在权利要求书中公布了：1.一种防止异常放电的一体成型靶材结构，其特征在于，所述一体成型靶材结构包括由上至下依次同心设置的第一台阶和第二台阶；所述第一台阶的直径＜第二台阶的直径；所述第一台阶的上表面为溅射面；所述第二台阶的两端分别对称设置有底面为圆弧形的沟槽；所述沟槽与第二台阶的边缘之间设置有安装槽；所述沟槽的开口直径为10-12mm；所述沟槽的深度为5-6mm。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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