昆山兴宇宏机械科技有限公司刘建蔚获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山兴宇宏机械科技有限公司申请的专利一种组装式晶圆承载盒获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222939883U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421822147.4,技术领域涉及:H01L21/673;该实用新型一种组装式晶圆承载盒是由刘建蔚设计研发完成,并于2024-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种组装式晶圆承载盒在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种组装式晶圆承载盒,包括两个托板以及对称设置在两个托板之间的两个插槽板,所述插槽板的内侧表面开设有多个晶圆槽,所述插槽板的上下表面均开设有两个柱槽,所述托板的表面固定有四个与柱槽相对应的插柱,且插柱插入至柱槽中;以及设置在插槽板和插柱之间的插接结构,包括开设在插槽板外侧表面而当T形插槽、开设在插柱表面的插孔;本实用新型通过对现有技术中的晶圆承载盒进行改进优化,在托板和插槽板之间设计了插柱、柱槽和插接结构等结构,使得托板和插槽板之间可以快速的组装在一起,提高整个晶圆承载盒的组装便捷性,同时组装完毕后具有良好的稳定性,也方便了后续使用完毕后对晶圆承载盒的拆分。
本实用新型一种组装式晶圆承载盒在权利要求书中公布了:1.一种组装式晶圆承载盒,其特征在于:包括两个托板1以及对称设置在两个托板1之间的两个插槽板2,所述插槽板2的内侧表面开设有多个晶圆槽21,所述插槽板2的上下表面均开设有两个柱槽22,所述托板1的表面固定有四个与柱槽22相对应的插柱11,且插柱11插入至柱槽22中;以及设置在插槽板2和插柱11之间的插接结构3,包括开设在插槽板2外侧表面而当T形插槽36、开设在插柱11表面的插孔35、插入至T形插槽36和插孔35内的T形插块34、滑动设置在插槽板2外侧表面且将T形插槽36覆盖的限位挡板31。
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