江苏联赢半导体技术有限公司王世星获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏联赢半导体技术有限公司申请的专利一种晶圆固定装置及晶圆加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222939909U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421819371.8，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种晶圆固定装置及晶圆加工设备是由王世星;谢霄飞;李凯;杨军;王康;胡火军设计研发完成，并于2024-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆固定装置及晶圆加工设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆固定装置及晶圆加工设备，其中，晶圆固定装置包括：座板；外环座，可转动地设置于所述座板；内环座，至少一个内环座同心嵌套于所述外环座内，所述内环座与所述外环座可拆卸连接，相邻两个所述内环座之间可拆卸连接；所述外环座与所述内环座用于装配晶圆。本实用新型通过可拆卸的外环座与内环座搭配使用，能够使得该晶圆固定装置适应不同尺寸晶圆的加工需求。
本实用新型一种晶圆固定装置及晶圆加工设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆固定装置，其特征在于，包括：座板1；外环座2，可转动地设置于所述座板1；内环座3，至少一个内环座3同心嵌套于所述外环座2内，所述内环座3与所述外环座2可拆卸连接，相邻两个所述内环座3之间可拆卸连接；所述外环座2与所述内环座3用于装配晶圆。
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