宝虹科技股份有限公司吕理宏获国家专利权
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龙图腾网获悉宝虹科技股份有限公司申请的专利用于沉积设备的加热装置及包含其的沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222935509U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421810570.2，技术领域涉及：C23C16/46；该实用新型用于沉积设备的加热装置及包含其的沉积设备是由吕理宏;蔡龙泉;游克强;余兴政设计研发完成，并于2024-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于沉积设备的加热装置及包含其的沉积设备在说明书摘要公布了：一种用于沉积设备的加热装置及包含其的沉积设备，用于沉积设备的加热装置设置于一沉积设备的一沉积腔之中，该加热装置包括一基座以及一导热元件。该基座包括一本体、一设置于该本体之中的容置空间以及一设置于该容置空间的加热单元，该本体具有一位于该容置空间之上的上表面。该导热元件设置于该基座上，该导热元件包括一贴附于该上表面的腔体、一位于该腔体之外且用于设置一待沉积的基材的上加热面以及一容置于该腔体内的导热介质，该导热介质接收该加热单元供应的热能，且经由一热传导及一热对流将该热能传递至该上加热面上的该基材。
本实用新型用于沉积设备的加热装置及包含其的沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种用于沉积设备的加热装置，设置于一沉积设备的一沉积腔之中，其特征在于，包括：一基座，包括一本体、一形成于该本体之中的容置空间以及一设置于该容置空间的加热单元，该本体具有一位于该容置空间之上的上表面；以及一导热元件，设置于该基座上，该导热元件包括一贴附于该上表面的腔体、一位于该腔体之外且用于设置一待沉积的基材的上加热面以及一容置于该腔体内的导热介质，该导热介质接收该加热单元供应的热能，且经由一热传导及一热对流将该热能传递至该上加热面上的该基材。
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