江苏晶工半导体设备有限公司童春健获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏晶工半导体设备有限公司申请的专利一种单片晶圆清洗机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222931350U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421766468.7,技术领域涉及:B08B1/12;该实用新型一种单片晶圆清洗机是由童春健;顾旭峰设计研发完成,并于2024-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种单片晶圆清洗机在说明书摘要公布了:本申请公开了一种单片晶圆清洗机,涉及晶圆加工技术领域。本申请包括清洗机主体,所述清洗机主体内设置有多个刷洗工位,所述刷洗工位内设置有机架,所述机架上转动设置有承载架,所述承载架上设置有作用于晶圆且将其固定或解除固定的固定件,所述机架上设置有用于承接药液的收集盒,所述刷洗工位内铰接有喷淋杆与刷洗杆,所述喷淋杆上设置有喷淋管,所述喷淋管的自由端通过软管与供液设备连通,所述刷洗杆上转动设置有轴杆,所述轴杆上设置有与晶圆滚动搭接的毛刷辊。本申请在对晶圆进行清洗时,通过喷淋管将药液喷淋到晶圆上,通过转动的毛刷辊均匀刷洗晶圆上表面,在刷洗时将杂质从晶圆上表面刷出,最终减少金属离子残留,提高清洗效果。
本实用新型一种单片晶圆清洗机在权利要求书中公布了:1.一种单片晶圆清洗机,包括清洗机主体(1),所述清洗机主体(1)内设置有多个刷洗工位(2),其特征在于,所述刷洗工位(2)内设置有机架(3),所述机架(3)上转动设置有承载架(4),所述承载架(4)上设置有作用于晶圆且将其固定或解除固定的固定件,所述机架(3)上设置有用于承接药液的收集盒(5),所述刷洗工位(2)内铰接有喷淋杆(6)与刷洗杆(7),所述喷淋杆(6)上设置有喷淋管(8),所述喷淋管(8)的自由端通过软管与供液设备连通,所述刷洗杆(7)上转动设置有轴杆(9),所述轴杆(9)上设置有与晶圆滚动搭接的毛刷辊(10)。
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