中国科学院合肥物质科学研究院罗海燕获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院合肥物质科学研究院申请的专利一种用于矫正晶圆偏心及角度误差的装置和系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222939898U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421782819.3，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种用于矫正晶圆偏心及角度误差的装置和系统是由罗海燕;丁睿哲;周佐达;瞿顶军;李志伟;金伟;熊伟设计研发完成，并于2024-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于矫正晶圆偏心及角度误差的装置和系统在说明书摘要公布了：本实用新型实施例提供一种用于矫正晶圆偏心及角度误差的装置和系统，属于晶圆纠偏技术领域。所述装置包括：承片部件，用于承载晶圆且带动所述晶圆转动；线光谱共焦传感器，设置在所述承片部件的侧面，以对所述承片部件承载的所述晶圆进行检测；调整部件，设置在所述承片部件的侧面，以根据所述线光谱共焦传感器对所述晶圆的检测情况微调所述晶圆；L型基台，设置在所述承片部件、线光谱共焦传感器和调整部件的底部，以承载所述承片部件、线光谱共焦传感器和调整部件，且所述承片部件和所述线光谱共焦传感器设置在所述L型基台的第一部位，所述调整部件设置在所述L型基台的第二部位。该装置可以及时的对晶圆进行纠偏。
本实用新型一种用于矫正晶圆偏心及角度误差的装置和系统在权利要求书中公布了：1.一种用于矫正晶圆偏心及角度误差的装置，其特征在于，所述装置包括：承片部件1，用于承载晶圆2且带动所述晶圆2转动；线光谱共焦传感器3，设置在所述承片部件1的侧面，以对所述承片部件1承载的所述晶圆2进行检测；调整部件4，设置在所述承片部件1的侧面，以根据所述线光谱共焦传感器3对所述晶圆2的检测情况微调所述晶圆2；L型基台5，设置在所述承片部件1、线光谱共焦传感器3和调整部件4的底部，以承载所述承片部件1、线光谱共焦传感器3和调整部件4，且所述承片部件1和所述线光谱共焦传感器3设置在所述L型基台5的第一部位6，所述调整部件4设置在所述L型基台5的第二部位7。
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