上海市激光技术研究所有限公司张玲玲获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉上海市激光技术研究所有限公司申请的专利激光解键合装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222939860U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421712360.X，技术领域涉及：H01L21/50；该实用新型激光解键合装置是由张玲玲;舒天娇;陈海鹏;王浩;张瑄珺设计研发完成，并于2024-07-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光解键合装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种激光解键合装置，属于半导体激光制造技术领域。该装置包括工作台，具有第一支撑件和第二支撑件；旋转载台组件，安装在工作台上，且用于固定键合晶圆；解键合激光装置，安装在第一支撑件上，且位于旋转载台组件的正上方；除胶激光装置，安装在第二支撑件上，且具有激光光学模块，激光光学模块的光轴与键合晶圆的侧面垂直；吹气装置，安装在第二支撑件上，且具有吹气管，吹气管出口端的轴线与激光光学模块的光轴同轴线。通过控制除胶激光装置对键合晶圆侧面的边缘溢胶进行处理，然后控制解键合激光装置解除键合晶圆中间层的键合胶，同时利用吹气装置辅助晶圆分离和除尘，操作简单，有利于提高晶圆的生产效率，降低碎片风险。
本实用新型激光解键合装置在权利要求书中公布了：1.一种激光解键合装置，其特征在于，包括：工作台，具有第一支撑件和第二支撑件；旋转载台组件，安装在所述工作台上，且用于固定键合晶圆；解键合激光装置，安装在所述第一支撑件上，且位于旋转载台组件的正上方；除胶激光装置，安装在所述第二支撑件上，且具有激光光学模块，所述激光光学模块的光轴与键合晶圆的侧面垂直；吹气装置，安装在所述第二支撑件上，且具有吹气管，所述吹气管出口端的轴线与激光光学模块的光轴同轴线。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海市激光技术研究所有限公司，其通讯地址为：200233 上海市徐汇区宜山路770号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号