柔电(武汉)科技有限公司解明获国家专利权
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龙图腾网获悉柔电(武汉)科技有限公司申请的专利一种ALD旋转料桶获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222935500U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421691200.1,技术领域涉及:C23C16/44;该实用新型一种ALD旋转料桶是由解明;程峰;肖翌;孙君;陈文柏设计研发完成,并于2024-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种ALD旋转料桶在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种ALD旋转料桶,包括上下端面被腔室贯通的桶身,端盖和端座分别可拆卸的安装在桶身上下端,端盖和端座上分别居中设置通孔和连轴孔,端盖面向桶身一侧连接能容纳于桶身内的过滤器,端座与桶身之间夹持有过滤板,连轴孔内设置有螺纹,用于与可旋转的输气管可拆卸连接,输气管用于输入反应气体和驱动桶身旋转,所述腔室内设有环绕桶身内壁均匀布置的凸棱。可以实现气体分布均匀,解决因粉体挂壁,导致影响包覆均匀等问题。
本实用新型一种ALD旋转料桶在权利要求书中公布了:1.一种ALD旋转料桶,可拆卸的安装在输气管16上,其特征在于,包括上下端面被腔室贯通的桶身6,所述腔室内设有环绕桶身6内壁均匀布置的凸棱7,端盖2和端座11分别可拆卸的安装在桶身6上下端,端盖2和端座11上分别居中设置通孔14和连轴孔15,端盖2面向桶身6一侧连接能容纳于桶身6内的过滤器5,端座11与桶身6之间夹持有过滤板8,连轴孔15内设置有螺纹。
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