东莞市先飞电子防护技术有限公司轩飞获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市先飞电子防护技术有限公司申请的专利一种化学气相沉积设备用循环均布转盘结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222935507U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421667666.8，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型一种化学气相沉积设备用循环均布转盘结构是由轩飞设计研发完成，并于2024-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学气相沉积设备用循环均布转盘结构在说明书摘要公布了：本实用新型属于化学气相沉积技术领域，尤其涉及一种化学气相沉积设备用循环均布转盘结构，包括设置于沉积室内的主转盘、设置于所述主转盘上的若干个可转动的网盘托架。相对于现有技术，本实用新型通过巧妙的结构设计，使得网盘托架在随着主转盘“公转”的同时，自身还能够“自转”，使得基板可以从中心到边缘不断切换，防止由于偶联剂或镀层材料的分子逃逸距离有限而导致的膜厚不均的问题，使得每个基板能够均匀受料，从而沉积的膜层更加均匀，提高良品率。
本实用新型一种化学气相沉积设备用循环均布转盘结构在权利要求书中公布了：1.一种化学气相沉积设备用循环均布转盘结构，其特征在于：包括设置于沉积室内的主转盘、设置于所述主转盘上的若干个可转动的网盘托架；所述主转盘的下表面向下延伸有安装柱，所述安装柱上设置有主动齿轮；所述网盘托架的底部连接有转轴，所述转轴的一端设置于从动齿轮内，所述主动齿轮与所述从动齿轮啮合；所述网盘托架包括底板、若干个从所述底板向上延伸的支撑杆，所述支撑杆之间设置有若干个用于放置基板的支撑架；所述主转盘的外周缘呈圆形，若干个所述网盘托架在所述主转盘的圆周方向上均匀排布；所述主转盘包括圆环形主盘、设置于中心部的中心盘和用于连接所述圆环形主盘和所述中心盘的若干个连接杆。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东莞市先飞电子防护技术有限公司，其通讯地址为：523000 广东省东莞市大岭山镇大岭山拥军路136号4栋806室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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