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广东庆虹电子有限公司刘辉钟获国家专利权

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龙图腾网获悉广东庆虹电子有限公司申请的专利一种扩膜夹具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222939907U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421672769.3,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型一种扩膜夹具是由刘辉钟;邝正焱设计研发完成,并于2024-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。

一种扩膜夹具在说明书摘要公布了:本实用新型的目的在于提供一种扩膜夹具,其包括底板、固定部、扩晶环;其中所述固定部设置在所述底板上,所述扩晶环套设在所述固定部上,所述扩晶环包括扩晶环内环和扩晶环外环,所述扩晶环内环套设在所述固定部上,所述扩晶环外环套设在所述扩晶环内环上,其中所述固定部的外径略小于所述扩晶环内环的内径,所述扩晶环内环的外径略小于所述扩晶环外环的内径,此设计依靠扩晶环与底座之间的摩擦力来对薄膜进行固定,不需要额外的卡扣结构对其进行固定,装配简单,且在扩膜过程中卡扣结构的固定方式会对上料抽板造成较高的磨损,工装的使用寿命短,本实用新型的固定方式受力面均匀,磨损程度小,使用寿命长,安装精度高。

本实用新型一种扩膜夹具在权利要求书中公布了:1.一种扩膜夹具,其特征在于,包括:底板、固定部、扩晶环;其中所述固定部设置在所述底板上,所述扩晶环套设在所述固定部上,所述扩晶环包括扩晶环内环和扩晶环外环,所述扩晶环内环套设在所述固定部上,所述扩晶环外环套设在所述扩晶环内环上,其中所述固定部的外径小于所述扩晶环内环的内径,且扩晶环内环与固定部之间通过摩擦力固定,所述扩晶环内环的外径小于所述扩晶环外环的内径。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人广东庆虹电子有限公司,其通讯地址为:510000 广东省广州市黄埔区保税区保盈大道13号301、302房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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