远山新材料科技有限公司张仰菊获国家专利权
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龙图腾网获悉远山新材料科技有限公司申请的专利便于抽取晶圆的晶舟盒获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222939882U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421615303.X,技术领域涉及:H01L21/673;该实用新型便于抽取晶圆的晶舟盒是由张仰菊设计研发完成,并于2024-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本便于抽取晶圆的晶舟盒在说明书摘要公布了:本申请公开便于抽取晶圆的晶舟盒,包括盒体以及可拆卸地设置在所述盒体的盒腔内的多个晶圆放置件,其中所述晶圆放置件于远离所述盒腔的一端开设有适于放置晶圆的晶圆放置槽,以此在需要取出晶圆时,便可以直接将存放该晶圆的晶圆放置件由盒腔内取出,不再需要使用专业的吸笔吸附拿取晶圆,操作方便,同时也不易触碰到损伤到邻近的晶圆,使用更加安全。
本实用新型便于抽取晶圆的晶舟盒在权利要求书中公布了:1.便于抽取晶圆的晶舟盒,其特征在于,包括盒体以及可拆卸地设置在所述盒体的盒腔内的多个晶圆放置件,其中所述晶圆放置件于远离所述盒腔的一端开设有适于放置晶圆的晶圆放置槽;所述盒腔包括位于底部的U型槽部和由所述U型槽部的两个侧壁一体向上延伸而形成的卡合部,两个所述卡合部的内侧对称设置有卡槽,所述晶圆放置件包括与所述U型槽部相配合的U型件以及由所述U型件的两个侧壁一体向上延伸而形成的卡合件,其中所述卡合件凸出于所述卡合部,且所述卡合件的外侧设置有与所述卡槽相配合的卡凸,所述晶圆放置槽开设在所述U型件内;所述晶圆放置件还包括由所述卡合件的顶端以预定角度朝外侧倾斜延伸的按压件,其中所述卡合件的顶端为所述卡合件远离所述U型件的一端,其中所述外侧是指远离所述盒腔的一侧,所述按压件和所述盒体之间保持有间隙,所述卡合件为弹性件。
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