中国科学院合肥物质科学研究院罗海燕获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院合肥物质科学研究院申请的专利一种透明或半透明晶圆表面缺陷检测装置及系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222939008U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421610622.1，技术领域涉及：G01N21/89；该实用新型一种透明或半透明晶圆表面缺陷检测装置及系统是由罗海燕;周佐达;李志伟;瞿顶军;丁睿哲;汝玉;金伟;熊伟设计研发完成，并于2024-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种透明或半透明晶圆表面缺陷检测装置及系统在说明书摘要公布了：本实用新型实施例提供一种透明或半透明晶圆表面缺陷检测装置及系统，属于晶圆表面缺陷检测技术领域。该检测装置包括：照明组件、斜向测量组件和法向测量组件，其中，照明组件设置于待检测区域的一侧，用于向安置于所述待检测区域内的晶圆提供激光；斜向测量组件设置于待检测区域的另一侧，用于接收并检测晶圆的斜向发射光，该斜向测量组件设置有第一针孔，第一针孔用于过滤晶圆在空间上的光学噪声干扰；法向测量组件设置于待检测区域的正上方，用于接收并检测晶圆的法向散射光，该法向测量组件设置有第二针孔，第二针孔用于过滤晶圆在空间上的光学噪声干扰。
本实用新型一种透明或半透明晶圆表面缺陷检测装置及系统在权利要求书中公布了：1.一种透明或半透明晶圆表面缺陷检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：照明组件，设置于待检测区域的一侧，用于向安置于所述待检测区域内的晶圆提供激光；斜向测量组件，设置于待检测区域的另一侧，用于接收并检测所述晶圆的斜向反射光，所述斜向测量组件设置有第一针孔，所述第一针孔用于过滤晶圆在空间上的光学噪声干扰；法向测量组件，设置于待检测区域的正上方，用于接收并检测所述晶圆的法向散射光，所述法向测量组件设置有第二针孔，所述第二针孔用于过滤晶圆在空间上的光学噪声干扰。
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