通威太阳能(金堂)有限公司吴斌获国家专利权
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龙图腾网获悉通威太阳能(金堂)有限公司申请的专利等离子体增强化学气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222935510U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421549134.4，技术领域涉及：C23C16/50；该实用新型等离子体增强化学气相沉积设备是由吴斌设计研发完成，并于2024-07-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体增强化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于太阳电池生产技术领域，提供一种等离子体增强化学气相沉积设备，该设备包括：腔体，所述腔体包括腔盖和腔室底板；放电板，所述放电板位于所述腔体的内部，所述放电板的楞角为圆角，所述放电板与射频电极的阴极相连；陶瓷片，所述陶瓷片位于所述放电板的远离所述腔盖的一侧表面，所述陶瓷片用于遮挡所述放电板，其中，所述放电板的面积大于或等于所述陶瓷片的面积。由此，该设备消除了尖端放电效应，进而有效地、低成本地解决了等离子体增强化学气相沉积过程中频繁停线维修、频繁更换高值备件、产品大批量不良等问题。
本实用新型等离子体增强化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种等离子体增强化学气相沉积设备，其特征在于，包括：腔体，所述腔体包括腔盖和腔室底板；放电板，所述放电板位于所述腔体的内部，所述放电板的楞角为圆角，所述放电板与射频电极的阴极相连；陶瓷片，所述陶瓷片位于所述放电板的远离所述腔盖的一侧表面，所述陶瓷片用于遮挡所述放电板，其中，所述放电板的面积大于或等于所述陶瓷片的面积。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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