武汉楚兴技术有限公司彭裕获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉楚兴技术有限公司申请的专利一种机械臂和晶圆加工装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222932811U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421535467.1，技术领域涉及：B25J18/00；该实用新型一种机械臂和晶圆加工装置是由彭裕设计研发完成，并于2024-07-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种机械臂和晶圆加工装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种机械臂和晶圆加工装置，涉及半导体技术领域，旨在机械化的拆卸隔热片，尽可能的减小在拆卸或放置隔热片的过程中对生产环境的污染与损伤器件的情况发生。机械臂包括连接结构、第一夹持结构以及第二夹持结构。第一夹持结构和第二夹持结构沿第一方向依次设置于连接结构上。第一方向与第一夹持结构的操作面垂直，第一夹持结构的操作面与第二夹持结构的操作面平行。第一夹持结构，被配置为通过第一夹持结构的操作面夹持晶圆。第二夹持结构，被配置为通过第二夹持结构的操作面夹持隔热片。
本实用新型一种机械臂和晶圆加工装置在权利要求书中公布了：1.一种机械臂，其特征在于，包括：连接结构、第一夹持结构以及第二夹持结构；所述第一夹持结构和所述第二夹持结构沿第一方向依次设置于所述连接结构上；所述第一方向与所述第一夹持结构的操作面垂直，所述第一夹持结构的操作面与所述第二夹持结构的操作面平行；所述第一夹持结构，被配置为通过所述第一夹持结构的操作面夹持晶圆；所述第二夹持结构，被配置为通过所述第二夹持结构的操作面夹持隔热片。
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