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易安爱富(武汉)科技有限公司白晓鹏获国家专利权

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龙图腾网获悉易安爱富(武汉)科技有限公司申请的专利一种光刻胶剥离液性能验证用剥离装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222938956U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421524119.4,技术领域涉及:G01N19/04;该实用新型一种光刻胶剥离液性能验证用剥离装置是由白晓鹏;申阳;李泰亨;夏明鸣;王丹宇设计研发完成,并于2024-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。

一种光刻胶剥离液性能验证用剥离装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及面板制备技术领域,并提出了一种光刻胶剥离液性能验证用剥离装置,包括喷淋罐、颗粒计数组件与载板,喷淋罐用于容置剥离液,所述喷淋罐包括喷淋端,所述喷淋端用于在喷淋罐中喷洒剥离液,以剥离基板上的光刻胶。该光刻胶剥离液性能验证用剥离装置,通过设置喷淋罐与载板,将带有光刻胶的基板放置在载板上,并在喷淋罐中进行剥离液喷淋作业,从而进行基板的光刻胶剥离实验,再通过颗粒计数组件进行剥离液中粒子含量的检测,以验证剥离液的光刻胶剥离性能与使用寿命,避免了在产线上进行剥离液的验证作业,同时降低了验证过程中对于耗材与剥离液的消耗。

本实用新型一种光刻胶剥离液性能验证用剥离装置在权利要求书中公布了:1.一种光刻胶剥离液性能验证用剥离装置,其特征在于:包括喷淋罐1、颗粒计数组件2与载板3,其中,喷淋罐1用于容置剥离液,所述喷淋罐1包括喷淋端11,所述喷淋端11用于在喷淋罐1中喷洒剥离液,以剥离基板上的光刻胶;颗粒计数组件2包括检测进端与检测出端,所述检测进端与检测出端均连通喷淋罐1,以使喷淋罐1中的剥离液通过检测进端流动至颗粒计数组件2中,并从检测出端回流至喷淋罐1,所述颗粒计数组件2用于检测剥离液中的颗粒大小与数量;载板3设置在喷淋罐1中,所述载板3用于放置基板,以使基板具有光刻胶的一侧朝向喷淋端11。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人易安爱富(武汉)科技有限公司,其通讯地址为:430000 湖北省武汉市东湖开发区流芳园横路8号武汉天马微电子有限公司厂房内;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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