江苏元夫半导体科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏元夫半导体科技有限公司申请的专利晶圆供液装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222932496U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421491472.7，技术领域涉及：B24B57/02；该实用新型晶圆供液装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-06-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆供液装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆供液装置，包括驱动模块、调节模块和供给臂，驱动模块安装于工作台上；调节模块可拆卸地安装在工作台上，调节模块包括转轴、轴承和轴承套，轴承设在转轴的外侧，轴承位于轴承套内，轴承套与工作台可拆卸连接，驱动模块与转轴的一端传动连接；供给臂可拆卸连接于转轴的另一端，供给臂具有朝向晶圆喷淋的第一喷嘴和第二喷嘴。根据本实用新型的晶圆供液装置，将装配好的供给臂和调节模块统一安装至工作台上，可以实现供给臂和调节模块的模块化装配，使得供给臂和调节模块的装配过程简单；在需要对供给臂和调节模块维修或者维护时，可以将供给臂和调节模块统一从工作台上拆下来，便于后期对供给臂和调节模块的维修或者维护。
本实用新型晶圆供液装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆供液装置，用于晶圆加工设备，其特征在于，所述晶圆加工设备包括工作台，所述晶圆供液装置包括：驱动模块，所述驱动模块安装于所述工作台上；调节模块，所述调节模块可拆卸地安装在所述工作台上，所述调节模块包括转轴、轴承和轴承套，所述轴承设在所述转轴的外侧，所述轴承位于所述轴承套内，所述轴承套与所述工作台可拆卸连接，所述驱动模块与所述转轴的一端传动连接；供给臂，所述供给臂可拆卸连接于所述转轴的另一端，所述供给臂具有朝向所述晶圆喷淋的第一喷嘴和第二喷嘴。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏元夫半导体科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区行创四路7号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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