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宜昌南玻硅材料有限公司;中国南玻集团股份有限公司李易成获国家专利权

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龙图腾网获悉宜昌南玻硅材料有限公司;中国南玻集团股份有限公司申请的专利一种硅片清洗花篮及硅片清洗花篮的底杆获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222939881U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421465779.X,技术领域涉及:H01L21/673;该实用新型一种硅片清洗花篮及硅片清洗花篮的底杆是由李易成;何川;刘群锋;周晓康;陈卫国;陈潇潇设计研发完成,并于2024-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。

一种硅片清洗花篮及硅片清洗花篮的底杆在说明书摘要公布了:一种硅片清洗花篮及硅片清洗花篮的底杆,包括U型侧板,两个U型侧板之间设有多个侧杆和多根底杆,侧杆上设有若干个硅片插入卡槽,两个硅片插入卡槽为一组用于对硅片进行限位;底杆用于对硅片底部进行支撑。底杆和硅片插入卡槽的硬度小于硅片硬度。通过改进硅片清洗花篮的底杆的设计,避免了硅片与清洗花篮底杆之间的硬接触,从而减少了硅片在插入清洗花篮时发生崩边的可能性,有效保护了硅片,提高了硅片的质量。

本实用新型一种硅片清洗花篮及硅片清洗花篮的底杆在权利要求书中公布了:1.一种硅片清洗花篮,其特征在于:包括U型侧板(1),两个U型侧板(1)之间设有多个侧杆(2)和多根底杆(3),侧杆(2)上设有若干个硅片插入卡槽(4),两个硅片插入卡槽(4)为一组用于对硅片进行限位;底杆(3)用于对硅片底部进行支撑;底杆(3)和硅片插入卡槽(4)的硬度小于硅片硬度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人宜昌南玻硅材料有限公司;中国南玻集团股份有限公司,其通讯地址为:443007 湖北省宜昌市南玻路1号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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