铧友益科技股份有限公司唐明志获国家专利权
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龙图腾网获悉铧友益科技股份有限公司申请的专利晶圆的自动光学检查装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222939127U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421401715.3，技术领域涉及：G01N35/00；该实用新型晶圆的自动光学检查装置是由唐明志设计研发完成，并于2024-06-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆的自动光学检查装置在说明书摘要公布了：一种晶圆的自动光学检查装置，包含放置台、与所述放置台相邻间隔且适用于同时移动多片晶圆片的移动机构、与所述移动机构相邻间隔的工作台、设置于所述工作台的移动载台，及设置于所述工作台的光学检测模块。所述工作台包括基座、设置于所述基座并界定出多个分别放置多片晶圆片的预备区的放料架，及在所述基座上与所述放料架相邻间隔地设置，且界定出多个分别放置多片晶圆片的完成区的出料架。所述移动载台可将所述晶圆片自所述预备区移动至所述完成区。所述光学检测模块用于在所述移动载台移动多片晶圆片的过程中，对所述晶圆片执行自动光学检查。借此，显著地提高针对所述晶圆片执行光学检测的效率。
本实用新型晶圆的自动光学检查装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆的自动光学检查装置，适用于检测容装于至少一个晶圆盒中的多片晶圆片；其特征在于：所述晶圆的自动光学检查装置包含：放置台，适用于放置所述至少一个晶圆盒；移动机构，沿第一轴线与所述放置台相邻间隔，且适用于同时移动多片所述晶圆片；工作台，沿与所述第一轴线垂直的第二轴线与所述移动机构相邻间隔，并包括基座、设置于所述基座上并界定出多个适用于分别放置多片所述晶圆片的预备区的放料架，及在所述基座上与所述放料架相邻间隔地设置，且界定出多个适用于分别放置多片所述晶圆片的完成区的出料架；移动载台，能够将所述晶圆片自所述预备区移动至所述完成区地设置于所述工作台；及光学检测模块，设置于所述工作台上，且介于所述放料架与所述出料架间，并用于在所述移动载台移动所述晶圆片的过程中，对所述晶圆片执行自动光学检查。
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