上海市激光技术研究所有限公司舒天骄获国家专利权
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龙图腾网获悉上海市激光技术研究所有限公司申请的专利激光解键合装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222939901U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421399505.5，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型激光解键合装置是由舒天骄;王浩;张玲玲;陈海鹏设计研发完成，并于2024-06-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光解键合装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种激光解键合装置，包括：二维载台；固定组件，用于固定待解键合件，包括定位盘和空心杆，空心杆用于与真空泵连接；激光系统，与二维载台联动；圆盘，设置于定位盘上并跟随定位盘移动，靠近定位盘的一面具有阵列分布的气孔，圆盘内部具有阵列分布的第一气道，每个第一气道与对应气孔连通并与真空泵连接。本实用新型待解键合件的位置确定后利用空心杆内的负压力固定待解键合件的底面，使其相对于定位盘不产生移位，然后，可以利用激光系统加热待解键合件，使待解键合件的温度满足设定需求，在解键合过程中，二维载台与激光系统同时移动，通过拼接的方式直至覆盖到整个加工幅面，此方式保证了激光加工的均匀性，提高了加工效率。
本实用新型激光解键合装置在权利要求书中公布了：1.一种激光解键合装置，其特征在于，包括：二维载台；固定组件，用于固定待解键合件，包括定位盘和空心杆，所述空心杆用于与真空泵连接；激光系统，与所述二维载台联动，用于产生透过待解键合件的激光束，并控制激光束的焦点在待解键合件的键合层扫描，以对键合层进行解键合；圆盘，设置于所述定位盘上并跟随所述定位盘移动，靠近所述定位盘的一面具有阵列分布的气孔，圆盘内部具有阵列分布的第一气道，每个第一气道与对应气孔连通并与真空泵连接。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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