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铭针微机电(上海)股份有限公司卞学礼获国家专利权

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龙图腾网获悉铭针微机电(上海)股份有限公司申请的专利一种防形变垂直针卡获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222939171U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421337293.8,技术领域涉及:G01R1/073;该实用新型一种防形变垂直针卡是由卞学礼;朴文秀;佟瑞设计研发完成,并于2024-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。

一种防形变垂直针卡在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种防形变垂直针卡,具体涉及针卡技术领域,包括用于加热芯片进行检测的升温组件;所述升温组件包括晶圆加热吸盘、晶圆件、曲形探针、陶瓷部件和电路转接板,所述晶圆件安装在晶圆加热吸盘顶部,所述曲形探针安装在晶圆件顶部,所述陶瓷部件安装在曲形探针顶部,所述电路转接板安装在陶瓷部件顶部;所述升温组件外部设有用于防止形变的功能组件;所述功能组件包括PCB板。本实用新型通过在PCB板内部安装有内层加热电极,使得电路转接板上下表面张力一致,以此可以抑制变形,达到稳定测试的目的,避免因电路转接板因受热不均而膨胀产生微小形变,避免造成曲型探针与电路转接板接触不良,而导致晶圆的不良率上升的情况。

本实用新型一种防形变垂直针卡在权利要求书中公布了:1.一种防形变垂直针卡,其特征在于:包括用于加热芯片进行检测的升温组件;所述升温组件包括晶圆加热吸盘3、晶圆件4、曲形探针5、陶瓷部件6和电路转接板7,所述晶圆件4安装在晶圆加热吸盘3顶部,所述曲形探针5安装在晶圆件4顶部,所述陶瓷部件6安装在曲形探针5顶部,所述电路转接板7安装在陶瓷部件6顶部;所述升温组件外部设有用于防止形变的功能组件;所述功能组件包括PCB板1,所述PCB板1设在升温组件顶部,所述PCB板1顶部嵌设有内层加热电极2,所述PCB板1设在电路转接板7顶部。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人铭针微机电(上海)股份有限公司,其通讯地址为:201203 上海市浦东新区康桥镇康桥路666号2幢一层001工位;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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