瀚积智能科技(上海)有限公司王荣辉获国家专利权
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龙图腾网获悉瀚积智能科技(上海)有限公司申请的专利一种真空蒸镀机的锅鼎控制装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222935485U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421296496.7,技术领域涉及:C23C14/24;该实用新型一种真空蒸镀机的锅鼎控制装置是由王荣辉设计研发完成,并于2024-06-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空蒸镀机的锅鼎控制装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种真空蒸镀机的锅鼎控制装置,属于晶圆片蒸镀技术领域,该锅鼎控制装置,包括固定轴、连杆结构、基板和旋转机构;通过多个连杆结构使多个锁块圆周分布,锅鼎放置在锁块的顶部,开合机构同步控制多个连杆结构的运动过程中,实现对锅鼎的固定,使其处于稳定状态,同时在转动轴上设置旋转装置,通过齿轮传动使基板转动,进而使托盘孔移动至机械手的工作位置,该控制装置将连杆机构和旋转装置进行耦合实现锅鼎的固定与转动,同时采用移动装置对锅鼎进行移动,调节锅鼎在工作室中的位置,实现锅鼎的自动控制。
本实用新型一种真空蒸镀机的锅鼎控制装置在权利要求书中公布了:1.一种真空蒸镀机的锅鼎控制装置,其特征在于,包括固定轴、连杆结构、基板和旋转机构;所述固定轴套设在基板的中心,多个连杆结构以固定轴为中心圆周设置,连杆结构的一端通过开合机构与固定轴连接,连杆结构的另一端设置有锁块,锅鼎设置在锁块的顶部,并且在连杆结构的作用下多个锁块对锅鼎环向锁紧;所述旋转机构包括轴套和齿轮传动装置;所述轴套套设在固定轴上并基板的底部,基板与轴套固定连接,轴套于齿轮传动装置连接。
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