昆山中辰矽晶有限公司王尚森获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山中辰矽晶有限公司申请的专利一种应用于硅片清洗生产过程中清洗提篮获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222939880U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420987062.5，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型一种应用于硅片清洗生产过程中清洗提篮是由王尚森;蔡雪良;李汉生设计研发完成，并于2024-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种应用于硅片清洗生产过程中清洗提篮在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种应用于硅片清洗生产过程中清洗提篮，该清洗提篮主要用于硅片的清洗工艺，通过改变硅片在清洗过程中在晶片篮里的状态，来达到使背面清洗均匀，减少外观不良。该装置由提手、支撑杆、清洗篮放置斜面、镂空挡板及底板组成；提手贯穿支撑杆，支撑杆固定前后镂空挡板，镂空挡板为斜面设计，最底部为底板，由支撑杆和镂空挡板链接固定。改善后的清洗提篮边缘呈一定角度的斜边，晶片篮放在提篮内也会斜着，作业员只需要按照要求将背面朝上放置，由于重力作用，正面会紧贴晶片篮卡槽，起到保护背面的作用。
本实用新型一种应用于硅片清洗生产过程中清洗提篮在权利要求书中公布了：1.一种应用于硅片清洗生产过程中清洗提篮，其特征是，该清洗提篮由提手、支撑杆、清洗篮放置斜面、镂空挡板及底板组成；提手贯穿支撑杆，支撑杆固定前后镂空挡板，镂空挡板为斜面设计，最底部为底板，由支撑杆和镂空挡板连接固定。
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