宁波江丰电子材料股份有限公司姚力军获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波江丰电子材料股份有限公司申请的专利一种防止背板电化学腐蚀的靶材组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222935488U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420558094.3，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种防止背板电化学腐蚀的靶材组件是由姚力军;潘杰;苏阳能设计研发完成，并于2024-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种防止背板电化学腐蚀的靶材组件在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种防止背板电化学腐蚀的靶材组件，所述靶材组件包括层叠设置的靶材和背板；所述背板的下表面两侧分别独立地设置有密封槽和压设于所述密封槽上的压块；所述密封槽的内部设置有密封圈；所述背板的下表面两侧分别独立地设置有绝缘垫片，且所述绝缘垫片位于所述密封槽的侧边。通过在背板密封槽的侧边设置有绝缘垫片，避免了背板与压块的直接接触，从而防止了背板与压块发生电化学腐蚀，减少PVD机台发生电流、电压异常，进而降低生产成本和设备维护成本。
本实用新型一种防止背板电化学腐蚀的靶材组件在权利要求书中公布了：1.一种防止背板电化学腐蚀的靶材组件，其特征在于，所述靶材组件包括层叠设置的靶材和背板；所述背板的下表面两侧分别独立地设置有密封槽和压设于所述密封槽上的压块；所述密封槽的内部设置有密封圈；所述背板的下表面两侧分别独立地设置有绝缘垫片，且所述绝缘垫片位于所述密封槽的侧边；所述绝缘垫片至少为2个；所述绝缘垫片的厚度为0.1~0.5mm、杨氏模量≥0.5GPa。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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