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龙图腾网恭喜无锡星微科技有限公司杭州分公司申请的专利一种晶圆分选设备及分选方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117415035B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311744052.5，技术领域涉及：B07C5/00；该发明授权一种晶圆分选设备及分选方法是由陆敏杰;王兆昆设计研发完成，并于2023-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆分选设备及分选方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆分选设备及分选方法，属于晶圆分选技术领域，该晶圆分选设备包括分选本体，分选本体内部配置有分选腔室，分选本体配置有上下料口，用于进料和出料；分选腔室的内部配置有机械手，用于实现晶圆的转移；分选本体的外壁配置有进气口和出气口；进气口配置有预处理组件；预处理组件包括壳体，壳体配置有进风口和出风口，壳体的出风口与分选本体的进气口对应设置；壳体的内部配置有过滤组件，用于对进入分选腔室内部的气体进行过滤。采用本发明的分选设备及分选方法对进入到分选腔室内部的空气进行过滤并快速提高分选腔室内部温度的均衡度，保证分选工序在适宜的工作环境中进行。

本发明授权一种晶圆分选设备及分选方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆分选设备，包括分选本体（10），所述分选本体（10）内部配置有分选腔室，所述分选本体（10）配置有用于进料的上料口（11）和用于出料的下料口（12）；所述分选腔室的内部配置有机械手（13），用于实现晶圆的转移；其特征在于，所述分选本体（10）的外壁配置有进气口和出气口；所述进气口配置有预处理组件（20）；所述预处理组件（20）包括壳体（21），所述壳体（21）配置有进风口和出风口，所述壳体（21）的出风口与所述分选本体（10）的进气口对应设置；所述壳体（21）的内部配置有过滤组件（24）；所述过滤组件（24）包括依序设置的多级滤芯，所述多级滤芯配置有分隔结构，用于引导气流分割和汇合；所述过滤组件（24）包括过滤箱体（30），所述过滤箱体（30）的侧壁配置有进气口、顶部配置有出气口；所述过滤箱体（30）的内部依序配置有第一过滤件（31）、第二过滤件（32）和第三过滤件（33）；所述第一过滤件（31）与所述过滤箱体（30）的进气口配合设置，所述第一过滤件（31）能够旋转，并从侧方将气流传递至所述第二过滤件（32）；所述第二过滤件（32）与所述第三过滤件（33）之间配置有滑移件（40），所述滑移件（40）远离所述第二过滤件（32）的一端与所述过滤箱体（30）的内侧壁弹性连接；所述滑移件（40）包括第三板体（46），所述第三板体（46）远离所述第二过滤件（32）的一侧与所述过滤箱体（30）的内侧壁之间连接有弹簧（47）；所述第三板体（46）朝向所述第二过滤件（32）的一侧并排设置多个第一空心管（42），相邻设置的两个所述第一空心管（42）之间配置有第一板体（41）；所述预处理组件（20）还包括出风组件（60），用于对进入所述分选腔室内部的气流进行整流；所述出风组件（60）包括第一筒体（61），所述第一筒体（61）与所述壳体（21）的出风口转动连接；所述第一筒体（61）的外部环绕配置多个第二筒体（62），所述第二筒体（62）的一端与所述第一筒体（61）相连通用于进气，所述第二筒体（62）的另一端用于出气。

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