恭喜宁波江丰电子材料股份有限公司姚力军获国家专利权
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龙图腾网恭喜宁波江丰电子材料股份有限公司申请的专利一种大尺寸管状靶材包套及其用途获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117488253B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311556889.7,技术领域涉及:C23C14/34;该发明授权一种大尺寸管状靶材包套及其用途是由姚力军;潘杰;李建;廖培君设计研发完成,并于2023-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大尺寸管状靶材包套及其用途在说明书摘要公布了:本发明提供一种大尺寸管状靶材包套及其用途,所述大尺寸管状靶材包套包括从内至外依次设置的锥形内包套管、防粘连垫片和外包套管;所述锥形内包套管的锥度为1:20~1:25;所述大尺寸管状靶材包套的长度为3~4m。本发明所述的大尺寸管状靶材包套的内包套管采用锥度设计,而且在锥形内包套管的表面覆盖的薄不锈钢片,可防止管坯材料和锥形内包套管粘连,便于锥形内包套管和管坯材料分离;而且锥形内包套管可重复利用,降低了管状靶材的加工成本。
本发明授权一种大尺寸管状靶材包套及其用途在权利要求书中公布了:1.一种大尺寸管状靶材包套用于制备大尺寸管状靶材的方法,其特征在于,所述大尺寸管状靶材包套包括从内至外依次设置的锥形内包套管、防粘连垫片和外包套管;所述锥形内包套管的锥度为1:20~1:25;所述大尺寸管状靶材包套的长度为3~4m;所述防粘连垫片包括不锈钢片;所述不锈钢片的厚度为0.1~0.2mm;所述大尺寸管状靶材包套还包括焊接在锥形内包套管和外包套管之间的环形盖板;所述大尺寸管状靶材包套用于制备大尺寸管状靶材的方法包括以下步骤:(1)在所述大尺寸管状靶材包套内装入管坯材料后,将外包套管、环形盖板、锥形内包套管和脱气管进行焊接,形成密封包套;(2)所述密封包套依次进行脱气抽真空和热等静压烧结;所述热等静压烧结的温度为1000~1200℃,所述热等静压烧结的压力为120~140MPa,所述热等静压烧结的时间为4~6h;(3)将所述热等静压烧结后的产品两侧环形盖板加工去除,沿锥形内包套管锥度方向反向将锥形内包套管和管坯材料分离,得到大尺寸管状靶材。
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