恭喜宁波江丰电子材料股份有限公司姚力军获国家专利权
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龙图腾网恭喜宁波江丰电子材料股份有限公司申请的专利一种钛铝合金靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117265489B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311430895.8，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种钛铝合金靶材及其制备方法是由姚力军;潘杰;陈石;廖培君;周友平设计研发完成，并于2023-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种钛铝合金靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种钛铝合金靶材及其制备方法，所述制备方法包括如下步骤：按照合金成分设计要求混合海绵钛和铝块，熔炼后依次进行等温轧制、退火以及机械加工后得到所述钛铝合金靶材；所述熔炼包括依次进行的一次熔炼、二次熔炼以及三次熔炼。本发明通过采用电子束熔炼法多次熔炼获得成分和组织均匀，内部无缺陷的铸锭；使用等温轧制方法将铸坯加工成晶粒细小均匀的靶坯。本发明提供的方法能有效控制钛铝合金靶材的性能，适用于批量生产。
本发明授权一种钛铝合金靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种钛铝合金靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：按照合金成分设计要求混合海绵钛和铝块，熔炼后依次进行等温轧制、退火以及机械加工后得到所述钛铝合金靶材；所述熔炼包括依次进行的一次熔炼、二次熔炼以及三次熔炼；所述一次熔炼的功率为200~250kW；所述一次熔炼的控制速度为70~100kgh；所述二次熔炼的功率为200~250kW；所述二次熔炼的控制速度为70~100kgh；所述三次熔炼的功率为200~250kW；所述三次熔炼的控制速度为70~100kgh；所述等温轧制的温度为1100~1200℃，且每道次加工率为5~8%；所述一次熔炼、二次熔炼以及三次熔炼后均进行后处理，所述后处理包括依次进行的保持真空状态以及降温过程，所述保持真空状态的时间为3~4h。
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