恭喜江苏华兴激光科技有限公司徐鹏飞获国家专利权
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龙图腾网恭喜江苏华兴激光科技有限公司申请的专利一种850nm波段单载流子高速探测器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112259626B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011264776.6,技术领域涉及:H10F77/14;该发明授权一种850nm波段单载流子高速探测器是由徐鹏飞;王岩;罗帅;季海铭设计研发完成,并于2020-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种850nm波段单载流子高速探测器在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体光电子器件技术领域,尤其涉及一种850nm波段单载流子高速探测器,其不同之处在于:其包括入射端,所述入射端上由下至上依次包括衬底、第一收集层、第二收集层、过渡层、p型多量子阱吸收层、p型阻挡层和p型接触层,还包括正电极层和负电极层,所述正电极层位于所述p型接触层上,所述负电极层位于所述第一收集层上且位于所述第二收集层的一侧。本发明适于850nm波段工作,有利于提高探测器响应速率,增大探测带宽。
本发明授权一种850nm波段单载流子高速探测器在权利要求书中公布了:1.一种850nm波段单载流子高速探测器,其特征在于:其包括入射端,所述入射端上由下至上依次包括衬底、第一收集层、第二收集层、过渡层、p型多量子阱吸收层、p型阻挡层和p型接触层,还包括正电极层和负电极层,所述正电极层位于所述p型接触层上,所述负电极层位于所述第一收集层上且位于所述第二收集层的一侧;所述入射端为850nm波段的增透介质膜层,其为双层混合结构,包括第一介质膜层和第二介质膜层,二者的光学厚度和为850nm的四分之一;其中,第一介质膜层为氧化铝层,第二介质膜层为氧化硅层,其中氧化硅层在氧化铝层下方;所述过渡层由下至上依次包括电荷层、下过渡层和上过渡层,所述电荷层为n型GaAs材料,厚度为5-15nm,掺杂浓度为1x1018cm-3,所述电荷层能够通过注入电荷提高电场,加速载流子漂移运动;所述下过渡层为i型InGaAsP材料,厚度为10-20nm,掺杂浓度为1x1015cm-3;所述上过渡层为i型InGaAs材料,厚度为5-15nm,掺杂浓度为1x1015cm-3。
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