恭喜南方科技大学赵永华获国家专利权
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龙图腾网恭喜南方科技大学申请的专利一种晶圆减薄装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111300671B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010128935.3，技术领域涉及：B28D5/02；该发明授权一种晶圆减薄装置是由赵永华;关均铭;王焓宇设计研发完成，并于2020-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆减薄装置在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆厚度减薄技术领域，公开了一种晶圆减薄装置，包括电源与工具电极，所述电源的一极与所述工具电极电连接，所述电源的另一极能够与待加工的晶圆电连接，所述工具电极上设有多个放电端子。本发明运用电火花加工的原理，通过将工具电极和晶圆分别连接电源两极，然后依靠电压击穿工具电极和晶圆间的间隙，在工具电极和晶圆间形成放电通道，进而对放电通道位置的晶圆表面进行减薄，整个过程属于非接触型加工，工具电极和晶圆间没有接触作用力，晶圆没有接触力过大而破碎的风险。
本发明授权一种晶圆减薄装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆减薄装置，其特征在于，包括电源与工具电极，所述电源的一极与所述工具电极电连接，所述电源的另一极能够与待加工的晶圆电连接，所述工具电极上设有多个放电端子，所述工具电极包括主体，多个所述放电端子均匀阵列在所述主体的外侧，所述主体包括位于主轴上的圆形基盘，所述工具电极以固定于连接轴上的所述主轴作为自转轴心，所述圆形基盘中设置若干电容槽以安装电容，所述圆形基盘的侧面向外突出形成若干凸起，所述凸起间形成安装槽以安装所述放电端子，所述放电端子以圆形阵列的方式分布于所述工具电极的外围，不同所述放电端子对应不同所述电容，所述电源与所述电容串联，所述电容与所述放电端子串联，所述工具电极能与所述晶圆相对旋转，多个所述放电端子相互独立，所述电源进行放电时，多个所述放电端子分别向待加工的所述晶圆进行放电。
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