恭喜新磊半导体科技(苏州)股份有限公司郭帅获国家专利权
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龙图腾网恭喜新磊半导体科技(苏州)股份有限公司申请的专利一种分子束外延系统砷束流等效压强的确定方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119936956B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510402474.7,技术领域涉及:G01T1/29;该发明授权一种分子束外延系统砷束流等效压强的确定方法是由郭帅;谢小刚;蒋建设计研发完成,并于2025-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种分子束外延系统砷束流等效压强的确定方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种分子束外延系统砷束流等效压强的确定方法,涉及半导体制造技术领域。该方法包括:在第一时间下,针对样品表面的表面再构在第一与第二再构状态之间的转变,获取束流等效压强的对数随样品温度的倒数变化的第一边界直线关系;在第二时间下,获取所述变化的第二边界直线关系;计算获得第一与第二边界直线关系之间的转换关系;针对在第一时间下的预设束流等效压强,利用转换关系,计算获得在第二时间下对应的束流等效压强。本方法通过在不同的时间下分别获取边界直线关系,然后计算转换关系,针对第一时间下的束流等效压强,可利用转换关系计算获得第二时间下对应的束流等效压强,实现砷束流等效压强的精确确定,节省了成本。
本发明授权一种分子束外延系统砷束流等效压强的确定方法在权利要求书中公布了:1.一种分子束外延系统砷束流等效压强的确定方法,其特征在于,所述方法包括:步骤a、在第一时间下,针对GaAs样品表面的表面再构在第一再构状态与第二再构状态之间的转变,获取As束流等效压强的对数随样品温度的倒数变化的第一转变边界直线关系;步骤b、在第二时间下,获取所述变化的第二转变边界直线关系;步骤c、计算获得第一转变边界直线关系与第二转变边界直线关系之间的转换关系;步骤d、针对在第一时间下的预设As束流等效压强,利用转换关系,计算获得在第二时间下对应的As束流等效压强。
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