湖北芯洁电子科技有限公司陈仕超获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北芯洁电子科技有限公司申请的专利一种Lam系列下部电极孔内清洗治具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222944057U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422339199.2，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种Lam系列下部电极孔内清洗治具是由陈仕超;孙豫军;谢丰;杨佐东设计研发完成，并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种Lam系列下部电极孔内清洗治具在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种Lam系列下部电极孔内清洗治具，属于半导体干刻设备技术领域。包括电极底板和盖板，所述电极底板的中部设有与下部电极匹配的通孔，所述盖板的一侧面的边缘设有与电极底板接触的密封凸台，所述密封凸台的内部设有挤压下部电极的抵接凸台，所述盖板的中部设有两个贯穿的快插接口孔，两个所述快插接口孔内分别设有清洗液注入接头和气体注入接头，所述盖板和电极底板可拆卸式连接。本技术方案用以提升对下部电极上电极孔的清洗效果和效率。
本实用新型一种Lam系列下部电极孔内清洗治具在权利要求书中公布了：1.一种Lam系列下部电极孔内清洗治具，用于对下部电极上的电极孔进行清洗，其特征在于：包括电极底板和盖板，所述电极底板的中部设有与下部电极匹配的通孔，所述盖板的一侧面的边缘设有与电极底板接触的密封凸台，所述密封凸台的内部设有挤压下部电极的抵接凸台，所述盖板的中部设有两个贯穿的快插接口孔，两个所述快插接口孔内分别设有清洗液注入接头和气体注入接头，所述盖板和电极底板可拆卸式连接。
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