北京石墨烯研究院;北京大学刘忠范获国家专利权
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龙图腾网获悉北京石墨烯研究院;北京大学申请的专利化学气相沉积装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222948468U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422131449.3，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型化学气相沉积装置是由刘忠范;亓月;杨钰垚;袁昊设计研发完成，并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本化学气相沉积装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种化学气相沉积装置，涉及石墨烯制备技术领域。该化学气相沉积装置包括反应腔室和第一加热组件，反应腔室用于容纳第一生长基底，第一生长基底为导体；第一加热组件包括电极，电极设置于反应腔室，用于电连接第一生长基底，使第一生长基底自发热至预设化学气相沉积温度。基于电能转化为热能的特性，在电极通电后能够对具有导电能力的第一生长基底直接加热，有效提高升温速率，提升制备效率；同时，该加热方式使得只有第一生长基底的表面温度高，而反应腔室的外壁温度比较低，使反应腔室中具有更高的生长温度梯度，能够减少气相加热带来的能源浪费和气相污染，有效提高加热均匀性与石墨烯的质量。
本实用新型化学气相沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种化学气相沉积装置，其特征在于，包括：反应腔室，所述反应腔室用于容纳第一生长基底，所述第一生长基底为导体；第一加热组件，所述第一加热组件包括电极，所述电极设置于所述反应腔室，用于电连接所述第一生长基底，使所述第一生长基底自发热至预设化学气相沉积温度。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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