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龙图腾网获悉上海图双精密装备有限公司申请的专利一种对准运动台Z轴垂直度测校装置及测校方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119618256B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411173714.2，技术领域涉及：G01C25/00；该发明授权一种对准运动台Z轴垂直度测校装置及测校方法是由袁梦设计研发完成，并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种对准运动台Z轴垂直度测校装置及测校方法在说明书摘要公布了：本发明涉及光刻设备领域，公开了一种对准运动台Z轴垂直度测校装置及测校方法，包括工控机主控模块、对准运动台、对准相机、垂直度测试板；所述工控机主控模块用于控制对准运动台的运动，使得对准运动台对准垂直度测试板；所述对准相机设置于所述对准运动台上并随对准运动台运动；所述垂直度测试板表面为反射面，反射面中心区域叠加一块小面积方形镀铬面，并在其表面设置测试标记，所述对准相机对准所述测试标记，本发明在整个流程仅需要对准运动台及对准相机等硬件模块参与，通过工控机主控系统的运动台控制模块、对准模块进行运动调节完成模块运动控制，再通过机器视觉识别算法对标记图像坐标进行识别，解决了传统测试方法的问题。

本发明授权一种对准运动台Z轴垂直度测校装置及测校方法在权利要求书中公布了：1.一种对准运动台Z轴垂直度测校方法，其特征在于，所述测校方法使用的测校装置包括：工控机主控模块、对准运动台、对准相机、垂直度测试板、掩模台、晶圆台、实像最佳焦面寻找模块、虚像最佳焦面寻找模块；所述工控机主控模块用于控制对准运动台的运动，使得对准运动台对准垂直度测试板；所述对准相机设置于所述对准运动台上并随对准运动台运动；所述垂直度测试板设置在掩模台上，所述垂直度测试板表面为反射面，反射面中心区域叠加一块小面积方形镀铬面，并在镀铬面表面设置测试标记，所述对准相机对准所述测试标记；所述晶圆台设置晶圆台开窗，所述对准运动台、对准相机设置在晶圆台下方，所述垂直度测试板设置在晶圆台上方，所述对准相机可穿过晶圆台开窗观察垂直度测试板上的测试标记；所述实像最佳焦面寻找模块用于寻找测试标记的最佳实像焦面；所述虚像最佳焦面寻找模块用于寻找测试标记的最佳虚像焦面；所述测校方法包括以下步骤：工控机主控模块控制对准运动台对准垂直度测试板上的测试标记；进行高点匹配，寻找到实像最佳焦面，得到图像匹配后的实像坐标；控制对准运动台，移动对准相机，直到寻找到虚像标记，进行低点匹配，寻找到虚像最佳焦面，得到图像匹配后的虚像坐标；获得对准运动台在实像最佳焦面与虚像最佳焦面之间的移动量△L根据得到的实像坐标和虚像坐标，计算得到测试标记的位移量s；采用以下公式计算对准运动台Z轴垂直度偏角α：

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