镓特半导体科技(铜陵)有限公司郑小超获国家专利权
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龙图腾网获悉镓特半导体科技(铜陵)有限公司申请的专利带内部热补偿装置的HVPE设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222948514U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422071015.9，技术领域涉及：C30B25/02；该实用新型带内部热补偿装置的HVPE设备是由郑小超设计研发完成，并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本带内部热补偿装置的HVPE设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了带内部热补偿装置的HVPE设备,包括：HVPE腔体（1）和载盘（2）；所述载盘底部设有加热室模块（3），所述加热室模块包括圆盘形底座（31）和位于圆盘形底座边缘与载盘底部边缘配合的围坝（32），所述圆盘形底座的中心开设有圆孔，所述圆盘形底座上固接有若干个围绕圆孔均匀分布的加热丝支持（33），所述加热丝支撑上安置有若干个呈同心圆分布的环形加热丝（34），相邻环形加热丝之间以及最内圈的环形加热丝与圆孔之间设有垂直分布的热电偶（35），所述热电偶的底部与HVPE腔体的内底固接。本实用新型的有益效果是通过内部补偿的方式，来调节载盘各处温度的均匀性，保证载盘中心和边缘的温度一致。
本实用新型带内部热补偿装置的HVPE设备在权利要求书中公布了：1.带内部热补偿装置的HVPE设备,包括：HVPE腔体（1）和载盘（2）；其特征是：所述载盘底部设有加热室模块（3），所述加热室模块包括圆盘形底座（31）和位于圆盘形底座边缘与载盘底部边缘配合的围坝（32），所述圆盘形底座的中心开设有圆孔，所述圆盘形底座上固接有若干个围绕圆孔均匀分布的加热丝支持（33），所述加热丝支撑上安置有若干个呈同心圆分布的环形加热丝（34），相邻环形加热丝之间以及最内圈的环形加热丝与圆孔之间设有垂直分布的热电偶（35），所述热电偶的底部与HVPE腔体的内底固接，所述圆孔内穿设有载盘旋转杆（36），所述载盘旋转杆一端与载盘底部固接，所述HVPE腔体的底部设有与载盘旋转杆的另一端传动连接的驱动机构（4），所述圆盘形底座的底部通过若干加热室支撑杆（37）与HVPE腔体的内底固接。
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