芯恩(青岛)集成电路有限公司卢强获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利用于拆装干法刻蚀设备分子泵的辅助装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222953047U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422075533.8，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型用于拆装干法刻蚀设备分子泵的辅助装置是由卢强;刘妞;褚洪彬;商庆玲设计研发完成，并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于拆装干法刻蚀设备分子泵的辅助装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种用于拆装干法刻蚀设备分子泵的辅助装置，包括：伸缩件、升降盘、导轨以及承托盘；伸缩件竖向地置于干法刻蚀设备中分子泵的安装空间内，伸缩件可自动伸缩调节；升降盘设于伸缩件之上且位于安装空间中压力控制器的下方；承托盘设于升降盘之上且可沿前后方向移动调节，承托盘用于放置分子泵，通过推拉承托盘以将承托盘推进或拉出安装空间，从而将放置于承托盘上的分子泵移入或移出安装空间。本实用新型采用推拉方式以及伸缩件的自动伸缩调节，更加方便省力，在伸缩件的顶撑下能够确保分子泵与压力控制器紧密相贴，保障分子泵与压力控制器连接处的气密性。无需两人合作，一人即可完成对分子泵的拆装，节省人力和时间。
本实用新型用于拆装干法刻蚀设备分子泵的辅助装置在权利要求书中公布了：1.一种用于拆装干法刻蚀设备分子泵的辅助装置，其特征在于，包括：伸缩件、升降盘、导轨以及承托盘；所述伸缩件竖向地置于干法刻蚀设备中分子泵的安装空间内，所述伸缩件可自动伸缩调节；所述升降盘设于所述伸缩件之上且位于所述安装空间中压力控制器的下方；所述承托盘设于所述升降盘之上且可沿前后方向移动调节，所述承托盘用于放置所述分子泵，通过推拉所述承托盘以将所述承托盘推进或拉出所述安装空间，从而将放置于所述承托盘上的分子泵移入或移出所述安装空间。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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