江苏阳铭互联智能系统有限公司申舰获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏阳铭互联智能系统有限公司申请的专利一种用于真空镀膜设备的抽真空装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222948461U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422056728.8，技术领域涉及：C23C14/56；该实用新型一种用于真空镀膜设备的抽真空装置是由申舰;袁斌;张延任;张建德设计研发完成，并于2024-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于真空镀膜设备的抽真空装置在说明书摘要公布了：本申请涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种用于真空镀膜设备的抽真空装置，包括镀膜箱体，所述镀膜箱体上设置有第一抽真空机构，所述第一抽真空机构包括抽气主管，所述抽气主管的一端与镀膜箱体连接，所述抽气主管远离镀膜箱体的一端连接有真空泵，所述抽气主管上设置有第一控制阀，所述抽气主管上连接有第一抽气支管，且所述第一抽气支管与抽气主管的连接位置位于第一控制阀的两侧，所述第一抽气支管上设置有第二控制阀，所述第一抽真空机构还包括用于加快镀膜箱体内的空气排出的负压组件，所述抽气主管和镀膜箱体均与负压组件相连。本申请具有提高对镀膜箱体内进行抽真空的效率，从而缩短镀膜箱体抽真空所需的时间，进而提高硅片的镀膜效率的效果。
本实用新型一种用于真空镀膜设备的抽真空装置在权利要求书中公布了：1.一种用于真空镀膜设备的抽真空装置，其特征在于：包括镀膜箱体1，所述镀膜箱体1上设置有第一抽真空机构2，所述第一抽真空机构2包括抽气主管3，所述抽气主管3的一端与镀膜箱体1连接，所述抽气主管3远离镀膜箱体1的一端连接有真空泵4，所述抽气主管3上设置有第一控制阀5，所述抽气主管3上连接有第一抽气支管6，且所述第一抽气支管6与抽气主管3的连接位置位于第一控制阀5的两侧，所述第一抽气支管6上设置有第二控制阀7，所述第一抽真空机构2还包括用于加快镀膜箱体1内的空气排出的负压组件8，所述抽气主管3和镀膜箱体1均与负压组件8相连。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏阳铭互联智能系统有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市吴中区吴中经济开发区越溪街道吴中大道2599号2幢2楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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