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拉普拉斯新能源科技股份有限公司刘相琳获国家专利权

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龙图腾网获悉拉普拉斯新能源科技股份有限公司申请的专利补液装置及ALD设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222948469U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422064912.7,技术领域涉及:C23C16/455;该实用新型补液装置及ALD设备是由刘相琳;刘宇;申龙设计研发完成,并于2024-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。

补液装置及ALD设备在说明书摘要公布了:本申请提供一种补液装置及ALD设备,其中补液装置包括:储液罐,用于存储液体;测液部,设置于储液罐并用于检测液体以获得检测结果;输入管路,连接于储液罐;补液管路,连接于储液罐,储液罐通过补液管路与容器连接;排出管路,连接于储液罐;补液阀门,设置于补液管路;排出阀门,设置于排出管路。在液体注入ALD设备的容器之前,通过补液装置进行检测,能够减少液体受到外界污染的情况,并且,补液装置的检测过程不影响ALD设备的容器中的液体持续用于生产,换言之,通过补液装置可以在不停机的情况下对ALD设备自动进行补纯水作业,能够提升自动化程度和生产效率。

本实用新型补液装置及ALD设备在权利要求书中公布了:1.一种补液装置,应用于ALD设备,其特征在于,所述补液装置包括:储液罐,用于存储液体;测液部,用于检测所述储液罐中液体的纯度是否合格;输入管路,连接于所述储液罐,用于向所述储液罐输入液体;补液管路,连接于所述储液罐,所述储液罐通过所述补液管路与所述ALD设备的容器连接;排出管路,连接于所述储液罐,用于排出所述储液罐中的液体;补液阀门,设置于所述补液管路,用于打开补液管路以将合格的液体输送至所述容器,以及关闭补液管路以阻断不合格的液体输送至所述容器。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人拉普拉斯新能源科技股份有限公司,其通讯地址为:518000 广东省深圳市坪山区坑梓街道吉康路1号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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