湖北五方光电股份有限公司奂微微获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北五方光电股份有限公司申请的专利一种用于晶圆制备的间隔磨圆装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118927045B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411145772.4,技术领域涉及:B24B5/50;该发明授权一种用于晶圆制备的间隔磨圆装置是由奂微微;刘浩;杨锋;陈浪;操龙陈设计研发完成,并于2024-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆制备的间隔磨圆装置在说明书摘要公布了:本发明涉及晶圆加工技术领域,公开了一种用于晶圆制备的间隔磨圆装置,包括工作台、用于承载待打磨晶圆的上料机构、驱动上料机构升降的顶升机构、用于将多个晶圆夹紧的夹固机构,所述上料机构设置在顶升机构上,所述夹固机构安装在顶升机构的两端;将夹料组件与夹块吸附连接后放进第一缺槽的内部,并将多个晶圆依次放进相邻两个夹块之间,再将装有晶圆的上料机构放在承载板上,将晶圆抬升至与两个夹持件同高的位置,再驱动两个夹持件靠近并抵触最边上的两个夹块,即可将多个晶圆定位在夹块之间,然后再将夹料组件取下,就可进行磨圆处理,此晶圆连接方式,杜绝了晶圆表面粘黏蜡,消除了后期测试时蜡对产品光谱的影响。
本发明授权一种用于晶圆制备的间隔磨圆装置在权利要求书中公布了:1.一种用于晶圆制备的间隔磨圆装置,其特征在于:包括工作台1、用于承载待打磨晶圆的上料机构4、驱动上料机构4升降的顶升机构3、用于将多个晶圆夹紧的夹固机构2,所述上料机构4设置在顶升机构3上,所述夹固机构2安装在顶升机构3的两端;所述上料机构4包括料盘41,所述料盘41上设置有放置晶圆的第四凹槽42,所述第四凹槽42的不相邻两内壁上端开设有第一缺槽43,两组所述第一缺槽43之间设置有夹块46、可拆卸安装在夹块46两端的夹料组件45,所述夹块46抵触在晶圆的中心位置;所述夹料组件45包括嵌合在第一缺槽43内部的U型的限位框451、活动安装在限位框451内部的多个连接板455,所述连接板455的一端磁性吸附在夹块46的侧壁上;所述连接板455的一端安装有铁片4510和插柱4511,所述夹块46的外壁分别开设有安装槽461和插槽462,所述安装槽461的内部安装有与铁片4510吸附的磁石463。
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