北京奥普托科微电子技术有限公司朱常兴获国家专利权
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龙图腾网获悉北京奥普托科微电子技术有限公司申请的专利激光控制装置和晶圆检测设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222953531U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422023748.5,技术领域涉及:H01S3/10;该实用新型激光控制装置和晶圆检测设备是由朱常兴;齐孟宗;蒋健君;王志康;赵文斌;熊自勤设计研发完成,并于2024-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光控制装置和晶圆检测设备在说明书摘要公布了:本申请提供了一种激光控制装置和晶圆检测设备。激光控制装置包括激光器,沿入射光路向待检工件发射入射激光,所述入射激光在所述待检工件上沿反射光路形成反射激光;光通断元件,设置在所述入射光路上,用于控制所述入射激光的通断;探测元件,设置在所述反射光路上,并与所述光通断元件联动,用于探测所述反射激光以使所述光通断元件动作。该激光控制装置包括激光器、光通断元件和探测元件,通过探测元件对反射激光进行探测,通过光通断元件控制入射光路的通断,能够在入射激光超出工作区域时遮挡入射激光,阻断其传播,杜绝安全隐患,能够阻挡反射激光的传播,排除反射激光的安全隐患,还能够确保激光器输出激光的稳定性。
本实用新型激光控制装置和晶圆检测设备在权利要求书中公布了:1.一种激光控制装置,其特征在于,包括:激光器,沿入射光路向待检工件发出入射激光,所述入射激光在所述待检工件上沿反射光路形成反射激光;光通断元件,设置在所述入射光路上,用于控制所述入射激光的通断;探测元件,设置在所述反射光路上,并与所述光通断元件联动,用于探测所述反射激光以使所述光通断元件动作。
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