日照照芯半导体科技有限公司陈妍婧获国家专利权
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龙图腾网获悉日照照芯半导体科技有限公司申请的专利一种半导体晶圆翻转式清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222953044U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422001105.0，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种半导体晶圆翻转式清洗装置是由陈妍婧设计研发完成，并于2024-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体晶圆翻转式清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体晶圆翻转式清洗装置，涉及半导体晶圆翻转式清洗技术领域，包括清洗装置主体、送料盘、喷嘴和顶升件，所述清洗装置主体上安装防护罩，防护罩内套设送料盘，送料盘为螺旋状，送料盘上安装出料口和送料口，送料口顶部与送料轨道抵触，送料轨道端部设置连接件，连接件用于连接多个送料轨道来延长送料距离，送料盘内壁设置喷嘴，喷嘴通过输液管和固定架连接在基座上，送料盘内圈的内壁与顶升件侧面接触。本实用新型通过在螺旋状的送料盘底部设置顶升件，使得晶圆在被螺旋状的输送的过程中，被不断顶升的顶升件翻转，使得被清洗的面更多，清洗的更彻底，清洗的效率提高。
本实用新型一种半导体晶圆翻转式清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆翻转式清洗装置，其特征在于：包括清洗装置主体（1）、送料盘（3）、喷嘴（11）和顶升件（12），所述清洗装置主体（1）上安装防护罩（2），防护罩（2）内套设送料盘（3），送料盘（3）为螺旋状，送料盘（3）上安装出料口（4）和送料口（6），送料口（6）顶部与送料轨道（5）抵触，送料轨道（5）端部设置连接件（7），连接件（7）用于连接多个送料轨道（5）来延长送料距离，送料盘（3）内壁设置喷嘴（11），喷嘴（11）通过输液管（9）和固定架（10）连接在基座（8）上，送料盘（3）内圈的内壁与顶升件（12）侧面接触。
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