上海积塔半导体有限公司杨晓鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利一种可校准圆形件旋转中心的机台及圆形件校准系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222953067U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422015586.0，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种可校准圆形件旋转中心的机台及圆形件校准系统是由杨晓鹏;须晨亚;何勇设计研发完成，并于2024-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可校准圆形件旋转中心的机台及圆形件校准系统在说明书摘要公布了：本申请提供一种可校准圆形件旋转中心的机台，包括主体、测距传感器和调距装置。其中，主体包括机身和旋转平台，机身为内部设置有圆柱形的腔室的中空结构，旋转平台设置于腔室的底部中心，旋转平台的上表面用于承载圆形件。其中，腔室的中轴线与旋转平台的旋转轴重合。测距传感器设置在腔室的内壁上，用于测量圆形件外侧壁与腔室内壁的距离。调距装置包括调距臂和调距头，调距臂的一端可活动地与机身连接，调距臂的另一端连接调距头。本申请的技术方案能够对圆形件在机台内部旋转时的偏心情况进行测量，并根据测量结果对圆形件位置进行校准，从而改善或消除圆形件的偏心状态，使机台的运行更加稳定，改善晶圆的快速热退火效果，提高生产效率。
本实用新型一种可校准圆形件旋转中心的机台及圆形件校准系统在权利要求书中公布了：1.一种可校准圆形件旋转中心的机台，其特征在于，包括：主体，包括机身1和旋转平台2，所述机身1为内部设置有圆柱形的腔室101的中空结构，所述旋转平台2设置于所述腔室101的底部中心，所述旋转平台2的上表面用于承载圆形件3；其中，所述腔室101的中轴线与所述旋转平台2的旋转轴重合；测距传感器4，设置在所述腔室101的内壁上，用于测量所述圆形件3外侧壁与所述腔室101内壁的距离；调距装置5，包括调距臂501和调距头502，所述调距臂501的一端可活动地与所述机身1连接，所述调距臂501的另一端连接所述调距头502；使用时，通过调整所述调距臂501向靠近或远离所述圆形件3的方向移动，使所述调距头502靠近或远离所述圆形件3外侧壁。
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