拉普拉斯新能源科技股份有限公司赵国建获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯新能源科技股份有限公司申请的专利镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222948467U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422002302.4,技术领域涉及:C23C16/44;该实用新型镀膜设备是由赵国建;郭路斌;朱太荣设计研发完成,并于2024-08-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀膜设备在说明书摘要公布了:本申请提供一种镀膜设备,包括镀膜腔体以及推舟组件。镀膜腔体沿第一方向延伸。推舟组件包括支撑桨以及至少一个分隔板;支撑桨沿第一方向延伸。在推舟组件收容于镀膜腔体内时,支撑桨延伸至镀膜腔体外部。分隔板穿设在支撑桨上,且沿第二方向延伸。其中,第一方向与第二方向垂直。分隔板将镀膜腔体分隔形成至少两个反应室。反应室之间相互独立,且均用于执行镀膜操作。镀膜腔体包括至少两个进气件。每个进气件对应一个反应室,且收容设置于对应的反应室内。每个进气件用于单独控制对应反应室内的进气量,可提升镀膜腔体内的气体分布的均匀性,进而提升镀膜设备的镀膜均匀性。
本实用新型镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种镀膜设备,其特征在于,所述镀膜设备包括:镀膜腔体,所述镀膜腔体沿第一方向延伸;所述镀膜腔体包括至少两个进气件;推舟组件,所述推舟组件包括支撑桨以及至少一个分隔板;所述支撑桨沿所述第一方向延伸;在所述推舟组件收容于所述镀膜腔体内时,所述支撑桨延伸至所述镀膜腔体外部;所述分隔板穿设在所述支撑桨上,且沿第二方向延伸;其中,所述第二方向与所述第一方向垂直;所述分隔板用于将所述镀膜腔体分隔形成至少两个反应室;所述反应室之间相互独立,且均用于执行镀膜操作;每个所述进气件对应一个所述反应室,且收容设置于对应的所述反应室内;每个所述进气件用于单独控制对应所述反应室内的进气量。
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