正奇光能科技有限公司徐文州获国家专利权
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龙图腾网获悉正奇光能科技有限公司申请的专利一种硅片退火用托盘结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222953073U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421982164.4，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种硅片退火用托盘结构是由徐文州;张永林;万义茂;云飞;汤应辉设计研发完成，并于2024-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片退火用托盘结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种硅片退火用托盘结构，包括托盘，所述托盘的顶部和底部均设置有固定网，位于底部固定网与托盘固定连接，位于顶部固定网与托盘紧密贴合，所述托盘内腔的前侧和后侧均设置有多个支撑条，所述托盘内腔的左侧固定连接有轨道。本实用新型通过将硅片放置在支撑条之间，通过滑动凸块、滑块和夹持块的配合使用，使得夹持块会带动移动板向后移动，继而使得支撑条移动至合适位置对硅片进行支撑固定，保证了硅片在退火时不会倾斜，即可达到采用可移动结构，对硅片进行定位，保证了不同规格的硅片都可以进行夹持，网格状减少托盘自身的重量，降低热容量，加快升温和冷却速度，保证了硅片退化用托盘的使用性和硅片退火质量的目的。
本实用新型一种硅片退火用托盘结构在权利要求书中公布了：1.一种硅片退火用托盘结构，其特征在于，包括托盘1：所述托盘1的顶部和底部均设置有固定网2，位于底部固定网2与托盘1固定连接，位于顶部固定网2与托盘1紧密贴合，所述托盘1内腔的前侧和后侧均设置有多个支撑条3，所述托盘1内腔的左侧固定连接有轨道4，所述轨道4内腔的顶部和底部均固定连接有限位条5，所述限位条5的内壁滑动连接有滑动凸块6，所述轨道4顶部的右侧固定连接有滑轨9，所述滑轨9的顶部设置有夹持块11，所述夹持块11顶部的后侧固定连接有连接板12，所述连接板12表面的前后两侧均贯穿设置有锥杆13，所述锥杆13与连接板12滑动连接，所述锥杆13的底部与轨道4的顶部紧密贴合，所述滑动凸块6的右侧固定连接有移动板17，所述移动板17左侧的顶部与夹持块11固定连接，所述移动板17与前侧多个支撑条3固定连接，位于后侧多个支撑条3与托盘1固定连接。
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