苏兆鸣获国家专利权
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龙图腾网获悉苏兆鸣申请的专利一种磁控式碳化硅长晶设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222948513U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421944822.0，技术领域涉及：C30B23/00；该实用新型一种磁控式碳化硅长晶设备是由苏兆鸣设计研发完成，并于2024-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控式碳化硅长晶设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种磁控式碳化硅长晶设备，涉及长晶设备技术领域。磁控式碳化硅长晶设备包括石墨坩埚、加热器、阳极、阴极和磁铁盘；石墨坩埚内的底部用于放置碳化硅粉料，加热器设置在石墨坩埚的外围，加热器用于加热并气相化碳化硅粉料，石墨坩埚内的顶部用于生长碳化硅籽晶；阳极设置在石墨坩埚的下方，阴极设置在石墨坩埚的上方，阳极与阴极之间形成电场使石墨坩埚内的气体离子化、并向石墨坩埚内的顶部流动，磁铁盘设置在阴极的上方，磁铁盘用于提高石墨坩埚内的气体离子化的程度。磁控式碳化硅长晶设备不仅能够提升长晶效率，还能够使碳化硅籽晶维持良好的晶格排列，明显降低晶体的内应力，减少晶体缺陷。
本实用新型一种磁控式碳化硅长晶设备在权利要求书中公布了：1.一种磁控式碳化硅长晶设备，其特征在于，所述磁控式碳化硅长晶设备包括石墨坩埚1、加热器2、阳极3、阴极4和磁铁盘12；所述石墨坩埚1内的底部用于放置碳化硅粉料7，所述加热器2设置在所述石墨坩埚1的外围，所述加热器2用于加热并气相化碳化硅粉料7，所述石墨坩埚1内的顶部用于生长碳化硅籽晶10；所述阳极3设置在所述石墨坩埚1的下方，所述阴极4设置在所述石墨坩埚1的上方，所述阳极3与所述阴极4之间形成电场使所述石墨坩埚1内的气体离子化、并向所述石墨坩埚1内的顶部流动，所述磁铁盘12设置在所述阴极4的上方，所述磁铁盘12用于提高所述石墨坩埚1内的气体离子化的程度。
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