无锡立芯半导体设备有限公司李庆贺获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡立芯半导体设备有限公司申请的专利一种防偏移的扩散炉晶圆传送装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222953060U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421911563.1，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种防偏移的扩散炉晶圆传送装置是由李庆贺;徐珍珍设计研发完成，并于2024-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种防偏移的扩散炉晶圆传送装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种防偏移的扩散炉晶圆传送装置，包括：控制箱、导轨组件、吸盘组件以及挡板组件，控制箱的的上侧表面对称安装有两个导轨组件，两个导轨组件结构相同，且两个导轨组件之间设置有间隙，导轨组件包括：导轨本体、传送皮带，导轨本体的外侧表面安装有传送皮带,与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：通过设置吸盘组件，在使用的时候，吸盘本体可提供稳定的吸附力，使晶圆在传送过程中不易偏移，且吸盘本体实现精准定位，这有助于晶圆精确地放置在目标位置，通过设置挡板组件，在使用的时候，挡板和吸盘组件共同作用，提供更可靠的防偏移效果，同时挡板组件还可以防止晶圆受到外部干扰。
本实用新型一种防偏移的扩散炉晶圆传送装置在权利要求书中公布了：1.一种防偏移的扩散炉晶圆传送装置，包括：控制箱（100）、导轨组件、吸盘组件（121）以及挡板组件（200），其特征在于，所述控制箱（100）的上侧表面对称安装有两个导轨组件，两个所述导轨组件结构相同，且两个所述导轨组件之间设置有间隙；所述导轨组件包括：导轨本体（110）、传送皮带（120），所述导轨本体（110）的外侧表面安装有传送皮带（120），所述传送皮带（120）的外侧表面均匀的安装有吸盘组件（121）；多个所述吸盘组件（121）结构相同，所述吸盘组件（121）包括：安装件（122）、吸盘本体（123），所述安装件（122）的上侧表面安装有吸盘本体（123），所述导轨组件的左侧以及右侧对称安装有挡板组件（200）。
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