上海天岳半导体材料有限公司潘亚妮获国家专利权
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龙图腾网获悉上海天岳半导体材料有限公司申请的专利一种集定向、滚圆、定位边加工为一体的晶棒加工装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222945112U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421897281.0,技术领域涉及:B24B5/04;该实用新型一种集定向、滚圆、定位边加工为一体的晶棒加工装置是由潘亚妮;王旗;朱灿;高超;宗艳民;杨恒;王颖慧;陈鑫;秦增杰;朱永海;隋晓明;靳婉琪设计研发完成,并于2024-08-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种集定向、滚圆、定位边加工为一体的晶棒加工装置在说明书摘要公布了:本申请公开了一种集定向、滚圆、定位边加工为一体的晶棒加工装置,属于晶棒加工技术领域。该加工装置包括:底座,所述底座用于放置晶棒,所述底座能够带动晶棒旋转并调整晶棒在水平方向上的倾斜角度;XRD定向机构,其包括X射线发射单元、X射线接收单元和信号强度监测单元;激光发射部,所述激光发射部设置在所述底座的上方;位移驱动机构,所述位移驱动机构用于驱动晶棒和激光发射部相对平行移动。该加工装置通过底座和XRD定向机构能够实现晶棒的精准定向,且通过激光发射部实现滚圆和定位边的一体化加工,实现生产效率和加工准确性的同时提高,并且降低了材料的损耗和生产成本,提高了批量化生产晶棒的质量稳定性。
本实用新型一种集定向、滚圆、定位边加工为一体的晶棒加工装置在权利要求书中公布了:1.一种集定向、滚圆、定位边加工为一体的晶棒加工装置,其特征在于,包括:底座,所述底座用于放置晶棒,所述底座能够带动晶棒旋转并调整晶棒在水平方向上的倾斜角度;XRD定向机构,其包括X射线发射单元、X射线接收单元和信号强度监测单元;激光发射部,所述激光发射部设置在所述底座的上方;位移驱动机构,所述位移驱动机构用于驱动晶棒和激光发射部相对平行移动。
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