铭针微机电(上海)股份有限公司卞学礼获国家专利权
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龙图腾网获悉铭针微机电(上海)股份有限公司申请的专利一种可分体组装模块耐高温低膨胀MEMS针卡结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222952404U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421853550.3,技术领域涉及:G01R1/073;该实用新型一种可分体组装模块耐高温低膨胀MEMS针卡结构是由卞学礼;朴文秀;佟瑞设计研发完成,并于2024-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可分体组装模块耐高温低膨胀MEMS针卡结构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及MEMS针卡结构技术领域,公开了一种可分体组装模块耐高温低膨胀MEMS针卡结构,其中一种可分体组装模块耐高温低膨胀MEMS针卡结构,包括测试组件与MEMS针卡组件,MEMS针卡组件可拆式安装在测试组件的顶端面;MEMS针卡组件包括PCB母板,PCB母板的顶端呈矩形分布可拆式安装有一组MEMS微悬臂模块,PCB母板的顶端并位于每个MEMS微悬臂模块的正下方安装有POGOPIN垂直信号导通结构。该一种可分体组装模块耐高温低膨胀MEMS针卡结构,在PCB母板的顶部安装多个独立的MEMS微悬臂模块,降低了每个MEMS微悬臂模块的体积尺寸,显著减小了单个模块在高温下的受热面积,从而降低了膨胀公差,在同样的150°测试环境下温度膨胀尺寸远小于整体模块偏差尺寸达到20um以内。
本实用新型一种可分体组装模块耐高温低膨胀MEMS针卡结构在权利要求书中公布了:1.一种可分体组装模块耐高温低膨胀MEMS针卡结构,包括测试组件(1)与MEMS针卡组件(2),其特征在于:所述MEMS针卡组件(2)可拆式安装在测试组件(1)的顶端面;所述MEMS针卡组件(2)包括PCB母板(21),所述PCB母板(21)的顶端呈矩形分布可拆式安装有一组MEMS微悬臂模块(22),所述PCB母板(21)的顶端并位于每个MEMS微悬臂模块(22)的正下方安装有POGOPIN垂直信号导通结构(23)。
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