友达光电(昆山)有限公司;友达光电股份有限公司李明获国家专利权
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龙图腾网获悉友达光电(昆山)有限公司;友达光电股份有限公司申请的专利蚀刻设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222953040U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421847211.4，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型蚀刻设备是由李明;熊炜;王竹鑫;林壮壮设计研发完成，并于2024-08-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本蚀刻设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种蚀刻设备，其包括腔室、第一电极、第一缓冲板及第二缓冲板，第一电极位于腔室内并邻近底部设置，第一电极具有相邻的第一侧边及第二侧边，第一缓冲板邻近底部设置，第一缓冲板连接于第一侧壁与第一侧边，且第一缓冲板对应第一侧边具有第一开口；第二缓冲板邻近底部设置，第二缓冲板连接于第二侧壁与第二侧边，且第二缓冲板对应第二侧边具有第二开口；部分第一侧边于底部的垂直投影与第一开口于底部的垂直投影重叠并使得至少部分第一开口外露于第一电极，部分第二侧边于底部的垂直投影与第二开口于底部的垂直投影重叠并使得至少部分第二开口外露于第一电极。本实用新型可提升产品质量。
本实用新型蚀刻设备在权利要求书中公布了：1.一种蚀刻设备，其特征在于包括：腔室，具有相对的顶部、底部以及连接于该顶部及该底部之间的第一侧壁及第二侧壁，该第一侧壁与该第二侧壁相邻接；第一电极，位于该腔室内并邻近该底部设置，该第一电极具有相邻的第一侧边及第二侧边，该第一侧边与该第一侧壁相对，该第二侧边与该第二侧壁相对，该第一侧边沿第一方向延伸，该第二侧边沿第二方向延伸，第一方向与第二方向相交；第一缓冲板，邻近该底部设置，该第一缓冲板连接于该第一侧壁与该第一侧边，且该第一缓冲板对应该第一侧边具有第一开口；以及第二缓冲板，邻近该底部设置，该第二缓冲板连接于该第二侧壁与该第二侧边，且该第二缓冲板对应该第二侧边具有第二开口；其中，部分该第一侧边于该底部的垂直投影与该第一开口于该底部的垂直投影重叠并使得至少部分该第一开口外露于该第一电极，部分该第二侧边于该底部的垂直投影与该第二开口于该底部的垂直投影重叠并使得至少部分该第二开口外露于该第一电极。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人友达光电(昆山)有限公司;友达光电股份有限公司，其通讯地址为：215300 江苏省苏州市昆山市经济技术开发区龙腾路6号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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