安徽越好电子装备有限公司苏芃因获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽越好电子装备有限公司申请的专利气体分布均匀的镀膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222948455U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421805819.0，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型气体分布均匀的镀膜装置是由苏芃因;陈桉苡;刘安辉;黄俊凯;俞峰;郑博鸿设计研发完成，并于2024-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体分布均匀的镀膜装置在说明书摘要公布了：本申请公开一种气体分布均匀的镀膜装置，包括：镀膜室，其左右两侧分别设置有供转移待镀工件的进口和出口；阴极室，内部设置有多个平行所述待镀工件的阴极靶材，所述阴极室具有相对的前侧和后侧，所述前侧开放并连通所述镀膜室，所述后侧的室壁设有抽气口；布气管组件，所述布气管组件设置在相邻两阴极靶材之间的空间内，且具有朝向所述后侧室壁设置的出气孔；阻挡件，包括设置在所述后侧室壁与布气管组件之间的主体部分以及位于所述主体部分两侧并向镀膜室弯曲延伸的翼部，所述阻挡件围成的空间基本包围所述阴极靶材。本申请相比于现有技术，能够提升镀膜装置内部气体的分布均匀性。
本实用新型气体分布均匀的镀膜装置在权利要求书中公布了：1.气体分布均匀的镀膜装置，其特征在于，包括：镀膜室，其左右两侧分别设置有供转移待镀工件的进口和出口；阴极室，内部设置有多个平行所述待镀工件布置的阴极靶材，所述阴极室具有相对的前侧和后侧，所述前侧开放并连通所述镀膜室，所述后侧的室壁设有抽气口；布气管组件，所述布气管组件设置在相邻两阴极靶材之间的空间内，且具有朝向所述后侧室壁设置的出气孔；阻挡件，包括设置在所述后侧室壁与布气管组件之间的主体部分以及位于所述主体部分两侧并向镀膜室弯曲延伸的翼部，所述阻挡件围成的空间基本包围所述阴极靶材。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人安徽越好电子装备有限公司，其通讯地址为：239050 安徽省滁州市南谯区乌衣镇双迎路790号3栋；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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